簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Chao-Chang Chen".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="晶圓基板製造"


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    固定磨料鑽石線鋸製程之運動模型與模擬
    • 機械工程系 /102/ 碩士
    • 研究生: 梨文一 指導教授: 鍾俊輝
    • 半導體晶圓製造往往會遇到品質提升與成本降低的挑戰,晶片通過一系列的製造處理,包括晶體生長,切片,壓扁和清潔,線鋸加工是應用於晶片基板製造的主要切片工具。游離磨料線鋸加工為起先在半導體行業中使用之切片…
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